a)纯化水循环预冲洗：将贮水缺罐，水泵与管道连成一个循环
注射用水分配系统用水点管路，用水泵将贮水罐中的去离子水在管路中循环15分钟，打开排水阀，边循环边排放。
b)碱液清洗：用1%氢氧化钠溶液循环清洗管道30分钟以上，然后排放
c)纯化水冲洗：将纯化水加入贮水罐，启动水泵，打开排水阀
排放30分钟以上，直到各出水中点的PH值，电导率与贮水罐中的纯化水一致
d)钝化：
i.6-8%的硝酸溶液，循环50分钟排放。
ii.混合酸液在25---35℃循环10---20分钟后排放
e)冲洗：用常温纯化水冲洗，直至进出口的PH值电导率一致
f)清洁蒸汽消*：将清洁蒸汽通入整个管路进行消*，每个使用点至少15分钟
g)取样检测：上述操作结束后，应在各使用点取样进行检测，合格后才能使用